8-9

AMH高純氣體全自動切換系統AMH系列高純氣體全自動切換系統，專為提供不間斷供氣的要求而設計。切換系統分別將主供氣瓶組和備用氣瓶組的氣體匯集在一起進行集中供氣，經過減壓、穩壓、通過管道向用氣點供氣，當切換系統主供氣瓶組的壓力耗盡時可自動切換到備用氣瓶組供氣，同時發出聲、光警示訊號，提醒用戶更換氣瓶，達到不間斷供氣的目的。切換系統壓力表和壓力傳感器監視當前工作...

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1.簡單供氣系統簡單供氣系統主要針對4英寸及以下半導體芯片廠、半導體材料的科研機構以及一些單臺的工藝設備等。它們的制程簡單，通常不需要連續性供氣，對氣體供應系統的投資預算低。2.由于氣體流量小，不經常使用，特種氣體氣源多采用普通鋼瓶（2.常規供氣系統常規供氣系統主要應用于4-6英寸大規模集成電路廠，50MW以下的太陽能電池生產線，發光二極管的芯片工序線以及其...

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氣體管道工程在施工時的注意事項1、所有不銹鋼管道兩端用塑料蓋密封，外部有塑料套密封，在進入施工現場后，安裝前，方可將塑料套拆封，并除去塑料蓋。2、管道鋪設時，應注意平直，彎管處采用專用彎管器，不得徒手彎曲，切斷管道時，用專用切管器操作，嚴禁用鋸子鋸斷管道。管道切斷后，應用專用工具處理斷口，嚴禁用普通銼刀處理。3、在管道的行進路線中，每隔1米應設置一組管夾，如...

7-19

化驗室管路安裝是確保實驗室正常運行的重要環節。在進行管路安裝時，需要考慮多個因素，包括實驗室布局、管道材料選擇、連接方式、安全性和可維護性等。實驗室布局是化驗室管路安裝的基礎。合理的實驗室布局能夠很大程度地提高工作效率和安全性。在規劃實驗室布局時，應充分考慮實驗室內不同區域的使用需求，并確保管路的走向符合實驗操作的流程。例如，通風系統的排氣管道應與有害氣體產...

7-19

氣體管路閥門知識半導體制造工藝需要使用高純度氣體，而氣體管路中的閥門是高純氣體管路中至關重要的一部分。閥門的作用閥門是用于控制管路中氣體流量的設備。在半導體高純氣體管路中，閥門的作用非常重要。閥門可以控制氣體流量和壓力，確保氣體流動的穩定和可靠性。閥門還可以隔離不同的管路，防止污染和混合。閥門的類型在半導體高純氣體管路中，有幾種常見的閥門類型。其中，常用的閥...

7-12

氣體管道系統夾氣的危害1、由于管道內的空氣泡的存在，使得管道過流面積減少，增加水頭損失。在水泵輸水時，水泵一般將增加11%～13%的能耗。在重力流輸水中，由于空氣泡的存在，將直接影響輸水量，甚至阻斷水流。2、由于氣體在同樣的壓差下流速很快，約為水流的30倍，因此氣體流經水表等測量工具發生偏差。這種偏差最終使得供水系統水量的不均衡。3、具有彈性的氣體存在，是管...

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特氣輸送系統是指：將特種氣體從氣源端、根據工藝設備的工藝需求、通過對流量和壓力等參數的控制，通過管道、無二次污染、穩定的輸送到工藝設備的用氣點。其基本流程是：氣源→控制柜→管道傳輸→VMB→用氣點二：分類特種氣體根據氣體性質不同一般分為：惰性氣體、易燃易爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體；根據供應包裝的不同分為：特種氣體和大宗特種氣體。三：供氣系統的選擇1.簡單供...